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Application

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X Series

적용 가능 분야

제품 설명

사용자 필요에 따라 2D, 2.5D, 3D 동시 검사 가능
14/16bit Digital CMOS 고해상도 FPD 디텍터 채용
통계 분석 디버깅을 통한 불량 유출 없이 최저 수준의 가성 불량률 달성

상세정보

제품 상세정보
Tube Power	130kV
Technology	2D, SFT, 2.5D Oblique, 3D-CERA
Panel Size	480㎜ × 360㎜
Object Resolution	3㎛ - 5㎛ @ Min.FOV